大多數(shù)傳統(tǒng)的真空沉積工具使用壓力變送器來維持真空室中的氣體壓力。節(jié)流閥設(shè)置可能花費(fèi)數(shù)千美元。它還需要一個(gè)單好的控制模塊來為閥門供電，提供PID數(shù)據(jù)和設(shè)定點(diǎn)功能。節(jié)流閥設(shè)置還可能在更換氣體或等待腔室中的氣體沉降時(shí)導(dǎo)致延遲。
使用快速作用的比例控制閥，將控制儀器放置在腔室上游可以提供更快的響應(yīng)時(shí)間和更好的穩(wěn)定性。上游方法還消除了對(duì)額外閥門，切割設(shè)備需求和設(shè)置成本的需求。Alicat儀器提供了這種替代方案。
使用壓力變送器控制上游的真空水平
對(duì)于大型或OEM項(xiàng)目，壓力變送器（外部傳感器）壓力控制器能夠在安裝在腔室上游時(shí)控制真空水平。當(dāng)過程壓力處于高真空或很高真空并需要外部壓力表時(shí)，使用該系列。
壓力變送器從傳感器獲取模擬信號(hào)，并使用比例閥提供閉環(huán)控制。
通過添加外部壓力傳感器，可以更精que地保持腔室壓力，同時(shí)還允許用戶好立于真空沉積系統(tǒng)整體改變或調(diào)節(jié)用過的氣體。這允許更快地施加中性氣體，改善涂層環(huán)境中的控制和穩(wěn)定的壓力水平。
壓力變送器壓力控制器為外部真空計(jì)提供電源，并兼容所有儀表技術(shù)，包括離子，皮拉尼和冷陰極以及有源或無源儀表和組合儀表。
集成真空控制器（IVC）不再有節(jié)流閥體積
對(duì)于沒有現(xiàn)有真空計(jì)的小型實(shí)驗(yàn)和項(xiàng)目，Alicat IVC就是解決方案。與壓力變送器一樣，它減少了傳統(tǒng)節(jié)流閥壓力控制方法的體積，復(fù)雜性和費(fèi)用。我們將真空傳感器直接集成到設(shè)備中，從而可以立即控制真空室中的壓力。我們的傳感器能夠以高精度到低范圍運(yùn)行，低至10毫托。Alicat IVC還包括直接來自設(shè)備的PID控制，以及氣動(dòng)隔離傳感器 - 與市場上的其他解決方案相比，確保更高的精度 - 精que測量腔室和氣體好立性。
在真空涂層應(yīng)用中將壓力控制裝置放置在腔室的上游節(jié)省了時(shí)間，成本并提高了真空沉積工具的精度。
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